高精密度的電子行業(yè)可以用微粒式干冰清洗機清洗嗎?電子工業(yè)中的清潔效果直接影響光伏電池和集成電路的最終性能,效率和穩(wěn)定性。由于硅材料的清潔度不足導致的問題頻出,因此必須優(yōu)化硅晶片的清潔工藝。
硅片可以用干冰清洗嗎?
當溫度超過31.1且壓力達到時,CO2變?yōu)槌R界狀態(tài),從而實現(xiàn)氣固轉(zhuǎn)化。通過噴嘴,二氧化碳突然從鋼瓶中釋放出來,壓力下降,體積迅速膨脹。二氧化碳的氣液混合物產(chǎn)生固態(tài)干冰顆粒,從而實現(xiàn)了硅片的清潔。干冰顆粒具有去除顆粒物和有機雜質(zhì)的不同機制。
當去除顆粒雜質(zhì)時,干冰顆粒與顆粒雜質(zhì)發(fā)生彈性碰撞,導致動量傳遞,并且顆粒雜質(zhì)被高速氣流粉碎并去除。當除去有機雜質(zhì)時,干冰顆粒與有機物質(zhì)發(fā)生非彈性碰撞,干冰顆粒使硅片表面上的有機物質(zhì)液化,包裹并硬化,并通過高速氣流除去。
干冰清洗機技術(shù)是一種理想的清潔技術(shù),研磨性非常低,它不會損壞硅晶片的表面并且不會污染環(huán)境。非常是個電子等精密儀器的清洗。